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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列
  Candela 8520*二代集成式光致发光和表面检测系统,设计用于对碳化硅和氮化镓衬底上的外延缺陷进行高*表征。采用统计制程控制
2025-06-06
KLA 表面缺陷检测系统Candela 8420系列
  Candela 8420是*种表面缺陷检测系统,它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类,对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟
2025-06-06
KLA 纳米压痕仪InSEM HT系列
  InSEM HT(高温)通过在真空环境下独立加热压头和样品测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚
2025-06-06
KLA 纳米压痕仪iNano系列
  iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试,包
2025-06-06
KLA 纳米压痕仪Nano Indenter G200系列
  纳米压痕仪G200是设计用于各种小尺寸材料的力学性能表征和开发过程中进行纳米力学测量的系统。 压痕测试系统是*个模块化的完
2025-06-06
KLA 光学轮廓仪Zeta-388系列
  Zeta-388提供3D量测和成像功能,与集成防震台和晶圆操作系统结合,可实现全自动测量。该系统采用ZDot? 技术,可同时收集高分
2025-06-06
KLA 光学轮廓仪Zeta-20系列
  Zeta-20是*个高度集成的光学轮廓显微镜,可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot? 技术,可同时收集高
2025-06-06
KLA 探针式轮廓仪HRP -260系列
  HRP -260 是*个高分辨率、自动化探针式轮廓仪,提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘
2025-06-06