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KLA 探针式轮廓仪Tencor P-17 OF系列
  P-17探针式轮廓仪为生产和研发(RD)环节提供从几纳米到*毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应
2025-06-06
KLA 探针式轮廓仪D-600系列
  Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量,以及用于研
2025-06-06